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CKD小型流量傳感器 氣體用

CKD小型流量傳感器 氣體用

產品型號: FSM2-PVF101-H081

所屬分類:CKD氣動元件

更新時間:2025-03-09

簡要描述:CKD小型流量傳感器 氣體用
較適合半導體、液晶制造域的用途。
無需直管部位,內置新的整流機構,上游側和下游側
大流量、小體積,流量范圍:0.5~1000?/min500、

詳細說明:

CKD小型流量傳感器 氣體用
功能特點:
雙畫面雙色顯示氣體用小型流量傳感器。
均無需直管部位,可自由設置。雙方向測量,顯示一體型、
1000L/min型實現(xiàn)了比原有體積減少30%的小型化。
硅微加工的白金傳感器芯片,實現(xiàn)50m/sec的響應速度。
適合半導體、液晶制造域的用途。
無需直管部位,內置新的整流機構,上游側和下游側
大流量、小體積,流量范圍:0.5~1000?/min500、
潔凈規(guī)格,標配有P70(防止發(fā)塵)、P80(禁油規(guī)格)產品。
備有顯示一體型、顯示分離型2種產品類型。
雙向型可任意設定流向進行測量。高速響應,采用經過

CKD小型流量傳感器 氣體用
技術規(guī)格:
溫度特性 ±0.2%F.S./°C以內(15~35°C、25°C基準)
緣體外徑φ1.0 具備功能 流量顯示、流量顯示峰值保持、開關輸出、模擬輸出
使用環(huán)境溫度·濕度 0~50°C,90%RH以下
重復性 ±1%F.S.以內 響應時間  50ms以下 流體溫度 0~50°C(不得結露)
Z高使用壓力 0.7MPa 低使用壓力 -0.09MPa 耐壓 1MPa
使用范圍 單向型:3~100%F.S.,雙向型:-100~-3%F.S.,3~100%F.S.
直線性(顯示·模擬輸出) ±3%F.S.以內(2側大氣開放)
消耗電流 注10 50mA以下 導線 φ3.7 相當于AWG26×5芯(接插件連接),
壓力特性 ±5%F.S.以內(-0.09~0.7MPa,2側大氣開放基準)






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